中國開始銷售納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)“VS1800” :此外,2010年制定了有關(guān)三維表面形態(tài)評估的標(biāo)準(zhǔn)ISO 25178,確立了評估方法,在這種背景下,實(shí)施三維測量的企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)等日益增多。因此,需要我們急切實(shí)現(xiàn)有關(guān)表面形態(tài)測量上的測量與分析的簡單化以及應(yīng)對多種樣品的測量問題。
此次發(fā)售的“VS1800”產(chǎn)品, 搭配了符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的分析工具 “ISO 25178參數(shù)對比工具”。在ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定了評估表面性狀的32個項(xiàng)目的參數(shù),但在對比樣品時,選擇適合評估的參數(shù)很難,成為分析業(yè)務(wù)的難題。“ISO 25178參數(shù)對比工具”,通過按差異程度大小順序自動對測量的參數(shù)值進(jìn)行依次排序,可輕松選出適合對比樣品的參數(shù),從而支持客戶的分析業(yè)務(wù)。
此外,“VS1800” 產(chǎn)品,通過光干涉方法*4除了可實(shí)現(xiàn)大視野測量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重現(xiàn)性外,亦通過日立高新技術(shù)科學(xué)自主研發(fā)的技術(shù),繼承了多層膜的無損傷測量等傳統(tǒng)產(chǎn)品的高測量性能。此外,該產(chǎn)品還可搭配“大傾斜角測量選配 ”*6功能,通過捕捉大傾斜角斜面的微弱的干涉條紋變化,實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)的光干涉方式無法實(shí)現(xiàn)的大傾斜角斜面測量,從而應(yīng)對多種多樣的樣品表面性狀的三維測量。
中國開始銷售納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)“VS1800”
l2019年3月5日,日立高新技術(shù)科學(xué)公司宣布,在中國開始銷售利用光干涉原理進(jìn)行非接觸式無損傷三維表面形態(tài)測量的納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)“VS1800”,該產(chǎn)品搭配有支持多目的表面測量標(biāo)準(zhǔn)“ISO 25178*1參數(shù)對比工具”,通過簡單而準(zhǔn)確的樣品測量支持客戶的分析業(yè)務(wù),與此同時,憑借不斷創(chuàng)新積累的三維測量性能,實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率的表面性狀的測量。